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用于六硼化镧阴极的可调节恒流源

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本文简要介绍在电子束曝光机中的几种类型的阴极,主要描述了用于六硼化镧阴极的可调节恒流源,并给出了一些实验结果。

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来源
《电工电能新技术》 |1991年第2期|24-28|共5页
作者
杨中山; 陈坤仪;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束曝光机; 负极; 六硼化镧; 电源;

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