锗硅在HBT中的应用及全外延工艺简介

刘天东

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锗硅（Si1-xGex）是硅和锗通过共价键结合形成的半导体化合物，是这两种元素无限互溶的替位式固溶体。锗硅一般有非晶、多晶、单晶和超晶格四种形态，其中单晶锗硅的主要应用之一就是作为异质结双极晶体管（Hetero—junction Bipolar Transistor，HBT）的基区，应用于具有高频、高速需求的无线通讯、卫星及光通讯等领域。

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来源
《集成电路应用》 |2007年第7期|47-48|共2页
作者
刘天东;
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作者单位

应用材料中国公司;

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