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三氟化氮纯化方法进展

         

摘要

介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法.为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术.

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