浅析光学晶体加工中化学机械抛光

郭盈; 王涛; 景爱梅

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随着社会的发展,人们对材料的需求日益增大,而红外光学技术的发展,推动者各种晶体材料得到了广泛的应用.因而,晶体材料的开发、加工及应用普遍受到人们的重视,为了对光学晶体中化学机械抛光进行深入的研究,笔者首先对光学晶体化学机械抛光发展现状进行了资料的收集整理,之后对光学晶体化学机械抛光技术研究,详细介绍了抛光技术的机理以及工艺思路的研究.最后,对光学晶体化学机械抛光过程中的各种问题进行分析,希望通过笔者的研究能够对我国光学晶体加工有所帮助.

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来源
《南方农机》 |2017年第3期|116|共1页
作者
郭盈; 王涛; 景爱梅;
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作者单位

沈阳理工大学,辽宁沈阳 110159;

沈阳理工大学,辽宁沈阳 110159;

沈阳理工大学,辽宁沈阳 110159;

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正文语种 chi
中图分类晶体加工;
关键词
光学晶体; 化学机械抛光; 加工技术;

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