多晶硅发射极双极晶体管的工艺设计及计算机模拟

著录项

• 来源
  《电子器件》 |2002年第1期|97-100|共4页
• 作者

  刘其贵; 吴金; 郑娥; 魏同立; 何林;

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• 作者单位

  东南大学微电子中心,南京,210096;

  东南大学微电子中心,南京,210096;

  信息产业部电子第二十四研究所,重庆,400060;

  东南大学微电子中心,南京,210096;

  信息产业部电子第二十四研究所,重庆,400060;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 固体物理学;
• 关键词

  多晶硅发射极; 双极晶体管; 双极工艺;