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多晶硅薄膜和多晶硅发射极光电晶体管

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该文研究了用UTT－40型超高真空镀膜机蒸发形成的多晶硅薄膜的高子注入掺杂和退火特性，并用多晶硅发射极制作了新型的高灵敏度光电晶体营，当人射光功率为44nw时，光电增益达到了3386。

著录项

来源
《第六届全国固体薄膜学术会议》|1998年|247-249|共3页
会议地点成都
作者
李国辉; 姬成周;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
多晶硅薄膜; 多晶硅发射极; 光电晶体管;

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