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ZnO纳米薄膜的制备及其气敏性质研究

         

摘要

纳米氧化锌薄膜具有光电、压电、压敏和气敏等多种性质,使其在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口、光波导器、单色场发射显示器、高频压电转换器、微传感器等方面具有广泛的用途。ZnO是研究最早、应用最广的半导体气敏材料之一,在适宜的温度下对多种气体具有很好的灵敏性。与金属氧化物气敏材料的另外两个系列SnO2和Fe2O3相比,

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