不同压力下碳氢体系低压金刚石的非平衡定态系列相图

刘志杰; 张卫

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系统压力是低压金刚石薄膜生长实验中重要的实验参数，如果采用合理的计算方法定量化地预测出压力对金刚石薄膜生长条件的影响，则可以直接用于指导其实验研究。本文报道根据非平衡热力学耦合理论模型绘制了Ｃ－Ｈ体系金刚石生长投影相图，经与大量实验结果比较相一致，并系统地计算了压力变化的碳氢体系金刚石生长非平衡定态戴面相图，到了金刚石生长区随压力变化的规律。计算得到的相图与经典平衡相图有本质不同，均有金刚石生长区

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来源
《无机化学学报》 |1998年第4期|412-417|共6页
作者
刘志杰; 张卫;
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作者单位

复旦大学电子工程系CVD研究室;

复旦大学电子工程系CVD研究室;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类碳C;
关键词
非平衡定态; 生长; 相图; 金刚石薄膜; 压力条件;

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