不同氧气分压下的MOCVD法氧化锌薄膜生长

著录项

• 来源
  《液晶与显示》 |2010年第5期|706-708|共3页
• 作者

  赵春雷; 杨小天; 王超; 唐魏; 杨佳; 高晓红;

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• 作者单位

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

  吉林建筑工程学院,电气与电子信息工程学院,吉林,长春,130021;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TN304.2+1;
• 关键词

  氧化锌; 薄膜; MOCVD;