中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;
中国科学院大学;
北京 100049;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;
中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心;
北京 100083;