用于神经电信号记录的多通道微探针

隋晓红; 张若昕; 裴为华; 鲁琳; 陈弘达

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用于神经电信号记录的多通道微探针

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:以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO2/Si)为主体的微探针,并详述了其具体制作工艺流程.扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3 mm、针宽100 μm、针厚约为20 μm,各个记录点直径10 μm、间距120μm,实现了各通道之间良好的信号隔离.微探针距离针尖1 mm范围内的针宽以一定弧度由100 μm逐渐变窄,同时针尖锥角为6°,此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤.通过体外测试得到,当频率由10 kHz增加到10 MHz时,微电极各个通道阻抗由150.5 kΩ降低到6.0 kΩ.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|1419-14211425|共4页
作者
隋晓红; 张若昕; 裴为华; 鲁琳; 陈弘达;
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作者单位

中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室,北京,100083;

中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室,北京,100083;

中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室,北京,100083;

中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室,北京,100083;

中国科学院半导体研究所国家重点集成光电实验室,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类半导体技术;
关键词
神经记录; 微探针; MEMS;

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