基于波长解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器的设计

陈绪兴; 王鸣; 戎华; 葛益娴

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基于波长解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器的设计

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提出了一种新的压力传感器的设计,该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和波长解调理论测量压力.设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单,分辨率高的光纤MEMS压力传感器.阐述了传感器的工作原理,分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响.系统采用可调谐激光器进行信号访问,利用反射谱的相位变化完成信号解调.理论分析和模拟计算验证了传感器加工制作方案的可行性.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|1875-1877|共3页
作者
陈绪兴; 王鸣; 戎华; 葛益娴;
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作者单位

南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京,210097;

南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京,210097;

南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京,210097;

南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电技术重点实验室,南京,210097;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
光电技术; 光纤传感器; Fabry-Perot干涉; MEMS; 相位解调;

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