基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器

葛益娴; 王鸣; 陈绪兴; 李明

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基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器

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运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器，该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力．运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出，通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度．实验结果表明，在压力线性测量范围[0．1～1．0]MPa内，灵敏度可达到12．71nm／MPa（光谱移动／压力）．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5b期|P.1832-18341839|共4页
作者
葛益娴; 王鸣; 陈绪兴; 李明;
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作者单位

南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室,南京210097;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光学集成电路（集成光路）;
关键词
集成光学; 压力传感器; 微机电系统; 光谱移动;

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