硅微陀螺仪的误差分析

施芹; 裘安萍; 苏岩; 朱欣华

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硅微陀螺仪的误差分析

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以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号;以静电理论为基础,分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号.分析结果表明,这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号.最后,介绍了一种减小正交误差的方法,并进行了仿真.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|2182-2185|共4页
作者
施芹; 裘安萍; 苏岩; 朱欣华;
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作者单位

南京理工大学机械工程学院,南京,210094;

南京理工大学机械工程学院,南京,210094;

南京理工大学机械工程学院,南京,210094;

南京理工大学机械工程学院,南京,210094;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类航空;
关键词
硅微陀螺仪; 加工误差; 不等弹性; 正交误差;

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