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一种硅微鸟盆式谐振陀螺仪及其制备方法

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本发明提供一种硅微鸟盆式谐振陀螺仪及其制备方法，陀螺仪包括顶层打孔玻璃引线盖板，中间层单晶硅结构层和底层玻璃衬底。单晶硅结构层包括中心支撑柱、鸟盆式谐振子，十六个固定的电容式电极；打孔玻璃盖板包括一个中心引线电极和十六个按圆周均匀分布的引线电极，用于引出结构层信号。玻璃衬底淀积有吸气剂，用于真空封装。制备过程中，先由深硅刻蚀确定中心支撑柱位置，然后各向同性腐蚀得到硅微鸟盆式模子，接着在模子上沉积氧化硅牺牲层和多晶硅结构层，释放牺牲层后得到硅微鸟盆式谐振子。引线盖板和玻璃衬底通过阳极键合与单晶硅基底封装在一起。本发明通过传统半导体的工艺完成了硅微鸟盆式谐振陀螺仪的制造，具有批量化、低成本等优点。

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公开/公告号CN111693037A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-22

原文格式PDF
申请/专利权人北京大学;
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申请/专利号CN201910187974.8
发明设计人王银鹏;白泽森;赵前程;杨振川;闫桂珍;
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申请日2019-03-13
分类号G01C19/5712(20120101);
代理机构
代理人
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
入库时间 2023-06-19 08:20:46

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法律状态公告日

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法律状态
2022-12-30

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01C19/5712 专利申请号:2019101879748 申请公布日:20200922

发明专利申请公布后的视为撤回

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