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薄膜宽度在线测量系统关键技术的研究

         

摘要

为满足生产现场薄膜宽度实时在线测量的需要,设计了并实现了高精度测量薄膜宽度的装置,系统利用稳功率的一字线形激光器照明,采用高分辨率线阵CCD作为传感器,物方远心成像光路接收以消除振动对测量影响,并采用"CPLD+MPU"硬件电路对输出信号处理,以确保测量精度.整个系统设计结构精简,实验证明了系统的可行性与健壮性.

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