梳齿谐振器宏模型的系统级应用

李俊; 李晓莹; 吕湘连; 闫子建; 常洪龙

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梳齿谐振器宏模型的系统级应用

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宏模型的获取是由Krylov子空间投影法结合器件级有限元分析的宏建模方法来实现，利用此模型和基于可重用IP设计思想的系统级组件建模方法建立由VHDL-AMS语言描述的梳齿谐振器系统级模型，在华大VDE仿真平台上搭建出了梳齿谐振器的系统模型，并进行一系列的仿真，包括时域阶跃、交流电压信号仿真和频域交流小信号仿真，仿真结果与商用仿真工具ANSYS仿真结果保持良好的一致．

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5a期|P.1340-1343|共4页
作者
李俊; 李晓莹; 吕湘连; 闫子建; 常洪龙;
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作者单位

西北工业大学微／纳米系统实验室,西安710072;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类谐振;
关键词
宏模型; VHDL-AMS; MEMS; 系统级; 可重用IP;

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