系统级模拟的MEMS器件宏模型

戎华; 黄庆安; 李伟华

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系统级模拟的MEMS器件宏模型

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MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。

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来源
《真空科学与技术学报》 |2002年第5期|366-371|共6页
作者
戎华; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
MEMS器件; 系统级模拟; 等效电路宏模型; 硬件描述语言宏模型; 微机电系统;

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