白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度

陈凯; 雷枫; 伊藤雅英

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白光干涉测量超薄透明电极ITO薄膜的厚度

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随着平板显示技术的发展,透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜,本文通过改进已有的频域分析算法,以便测试膜厚在20~150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比,该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明,待测透明电极薄膜的厚度为90~104 nm,其结果和标定值一致,证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。

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来源
《中国光学(中英文)》 |2015年第4期|567-573|共7页
作者
陈凯; 雷枫; 伊藤雅英;
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作者单位

筑波大学数理物质科学研究科伊藤研究室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息光学;应用光学;
关键词
白光干涉; 频域分析; 测量; 厚度; 透明电极;

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