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介绍一个不用波长片测量椭圆偏振光位相差的方法

         

摘要

利用椭圆偏振光的特性来测量金属、半导体的薄膜厚度、反射特性、复数折射率等等,已有成熟的方法与仪器。它们最核心的问题是要测量一个椭圆偏振光的水平分量与垂直分量之间的位相差。

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