基于机器视觉的硅锭端面隐裂检测方法

朱毅; 嵇小辅

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基于机器视觉的硅锭端面隐裂检测方法

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硅锭在生产过程中难以避免有端面隐裂的发生,严重影响生产线的安全性能和生产效率,为此提出一种改进背景差分的硅锭端面隐裂自动检测方法;首先,分析端面隐裂的特点,采用中值滤波来对图像进行预处理;其次,采用图片样本库训练得到背景图像,并对常用差分算法进行改进,在对图像进行差分的同时增强隐裂缺陷;再根据隐裂缺陷的最大比例不超过10%,进一步去除差分图片中的大部分背景点;最后,再提取隐裂缺陷区域,对区域进行连通域分析,并根据缺陷区域面积来判断端面是否有隐裂;对硅碇端面隐裂缺陷的仿真结果和现场实践表明,该方法识别的准确率达96.4%,召回率达98.5%,识别时间低于200 ms,很好地满足了现场运行的需求。

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来源
《计算机测量与控制》 |2023年第4期|36-41|共6页
作者
朱毅; 嵇小辅;
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作者单位

江南大学物联网工程学院轻工过程先进控制教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
背景差分; 硅锭; 隐裂缺陷; 自动检测; 连通域分析;

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