面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率

李维汉; 乔煜; 疏达; 王新昶

首页> 中文期刊> 《上海交通大学学报》 >面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率

面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

金刚石具有极高的导热系数,在热管理中具有广阔的应用前景.基于热丝化学气相沉积法,采用多次沉积工艺在碳化硅表面制备了金刚石厚膜.采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对金刚石膜进行了表征,系统地研究了热丝功率、碳源浓度和反应压力等工艺参数对金刚石生长速率及质量的影响.研究结果表明,当热丝功率为1600 W、碳源浓度在形核阶段为18/300和生长阶段为14/300、反应压力为4 kPa时制备的金刚石膜质量最佳,此时金刚石膜生长速率约为1.4μm/h.

著录项

来源
《上海交通大学学报》 |2023年第8期|1078-1085|共8页
作者
李维汉; 乔煜; 疏达; 王新昶;
展开▼
作者单位

安徽工程大学机械工程学院;

上海交通大学机械与动力工程学院;

奥卢大学纳米与分子材料研究中心-90014;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造超硬度材料的生产;特种结构材料;
关键词
热丝化学气相沉积; 金刚石膜; 生长速率; 质量; 散热;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 施加偏压对采用等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬质合金上沉积金刚石/碳化硅/硅化钴复合薄膜的影响 [J] . 王陶 ,蒋春磊 ,唐永炳 . 集成技术 . 2017,第1期
2. 热丝化学气相沉积法在CH4/H2混合气体中低温生长超薄纳米金刚石膜 [J] . 张衡 ,郝天亮 ,石成儒 . 红外与毫米波学报 . 2006,第2期
3. 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响 [J] . 陈岩 ,黄荣芳 ,闻立时 . 材料研究学报 . 1995,第3期
4. 热丝化学气相沉积金刚石膜温度场的仿真模拟与应用 [J] . 黎韩琪 ,栗正新 ,苑执中 . 中原工学院学报 . 2015,第3期
5. 氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响 [J] . 任瑛 ,张贵锋 ,侯晓多 . 机械工程材料 . 2009,第11期
6. 热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积制备硅薄膜生长机制的比较研究 [C] . 周玉琴 ,周炳卿 ,谷锦华 . 第九届中国太阳能光伏会议 . 2006
7. 热丝化学气相沉积金刚石膜及碳氮膜的研究 [A] . 赵济美 . 2007

面向散热应用的碳化硅表面热丝化学气相沉积金刚石膜生长速率

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅