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唐城; 钱程; 孙良亭; 张雪珍; 张子民; 李中平; 赵环昱; 卢旺; 赵红卫;
中国科学院近代物理研究所;
兰州730000;
中国科学院大学;
北京100049;
ECR等离子体; 电子枪; 注入组件; 磁约束; 共振面;
机译:注入1+离子束作为电荷繁殖器ECR离子源等离子体的诊断工具
机译:使用ECR离子源开发串联加速器末端离子注入器产生的高能高惰性气体离子束
机译:束流对6.4 GHz ECR离子源中注入磁场的依赖性的实验研究
机译:紧凑型ECR离子源的微波注入优化
机译:通过等离子源离子注入,在微电子应用中基于能量离子的金属氮化物扩散势垒沉积和注入。
机译:电子回旋共振离子源增强离子注入钛的理化和生物学特性
机译:具有陶瓷室的轴向磁场2.45GHz ECR离子源的电子温度曲线
机译:LBL ECR的高性能单级操作(劳伦斯伯克利实验室电子回旋共振)和高级ECR离子源的设计
机译:微波电子回旋加速器电子共振(ECR)离子源,具有大,均匀分布,轴向对称的ECR等离子体体积
机译:ECR离子源车载离子注入的束流控制方式为空
机译:ECR离子源固定离子注入器的束流控制方法
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