晶体表面波温度传感器

潘金才; 钱国兴

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本文介绍二种新型的接触式晶体表面波温度传感器。采用ＹＺ－ＬｉＮｂＯ３单晶和（１１０）＜００１＞－Ｂｉ１２ＧｅＯ２０单晶制作了延迟线型和振子型温度传感器。实验器件的中心频率在２０～５５兆赫之间，相对灵敏度８０～１１５ｐｐｍ／℃。给出了实测的频率温度特性曲线，在－４０～＋８５℃温度范围内具有良好的线性关系。输出为数字信息，可直接进行数据处理。这类传感器件用在温度遥测和遥控方面是极有前途的。

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来源
《声学技术》 |1983年第4期|50-53|共4页
作者
潘金才; 钱国兴;
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作者单位

中国科学院上海硅酸盐研究所;

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