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一种新的VLSI诊断工具

         

摘要

<正> 一种新的诊断工具有可能使亚微米VLSI器件样品的调试时间减少数周,这就是美国SentrySchlumberger公司的集成诊断系统IDS 5000。该系统使用一个电子束探针,并将来自于一个复杂的VLSI芯片的CAD连接表(netIist)数据与该芯片的实际显微图象结合起来。IDS 5000的Unix

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