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远紫外曝光

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本文介绍了国内条件下进行远紫外曝光技术中遇到的问题。研究了市售氙-汞灯的光谱特性,提出选择一个远紫外光源的标准。另外,实验结果证实,红外线辐照所引起的温升效果对分辨率线条的影响并不明显。本文还介绍了,采用市售氙-汞灯曝光系统对锡化三号胶进行曝光情况。

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来源
《微电子学与计算机》 |1981年第4期|36-39|共4页
作者
顾柏春; 邓弼兴; 张世华;
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作者单位

中国科学院半导体研究所;

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