微电子测试结构在I~2L RAM研制中的应用

田霞; 边江

首页> 中文期刊> 《微电子学与计算机》 >微电子测试结构在I~2L RAM研制中的应用

微电子测试结构在I~2L RAM研制中的应用

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

＜正＞一、引言随着现代半导体工程的日趋精细、复杂和严格化,使得采用微电子测试图形检测和监控集成电路制作工艺,被人们普遍地重视起来,并且已经被推广到半导体工程中的各个领域和各个环节。我们在研制双极I~2L RAM电路过程中,为了确保其电路性能稳定、可靠,根据自己的工艺现状,拟定了一项综合性的工艺监控计划。在该计划中,除了常规工艺规程检查之外,还需要特殊设计的微电子测试结构,以便获得所需要的工艺物理参数和电路功能参数。这些测试结构是一些与集成电路工艺相容的微

著录项

来源
《微电子学与计算机》 |1983年第4期|51-57|共7页
作者
田霞; 边江;
展开▼
作者单位

骊山微电子公司;

骊山微电子公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 双路测试模式在动态RAM测试中的应用 [J] . 陈湘文 . 微电子测试 . 1997,第2期
2. 项目管理理论在微电子封装测试设备开发中的应用 [J] . 李俊衡 . 今日自动化 . 2021,第2期
3. 光学类测试仪器在微电子行业中的应用 [J] . 崔琳 ,李锁印 . 河北工业大学学报：社会科学版 . 1999,第1期
4. 法向矢量耦合波分析法在微电子结构CD 分析中的应用 [J] . 田尧 . 大众科技 . 2012,第6期
5. 层状类钙钛矿结构有机-无机杂合物的制膜及在微电子器件中的应用 [J] . 郭丽玲 ,刘韩星 . 建材世界 . 2007,第6期
6. 微电子测试图技术在生产工艺参数监测和可靠性研究中的应用 [C] . 贾新章 . 电子产品可靠性与质量管理学会第三届学术年会 . 1985
7. 法向矢量耦合波分析法在微电子结构CD分析中的应用 [A] . 田尧 . 2012

微电子测试结构在I~2L RAM研制中的应用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅