扫描激光声波显微镜在半导体中的应用

莫大康

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＜正＞在半导体领域中,利用超声技术测试有许多优点:能迅速得到图像;分辨率高.要实现高分辨率图象,需要短波、高频的超声源,一般采用薄层压电晶体传感器.在各类图像观察系统中,无论是光学显微镜还是扫描电子显微镜,或者是声波显微镜,系统的最终分辨率都是受源的半波长限制的,因而只有一定尺寸的检测器才能实现高分

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来源
《微电子学与计算机》 |1987年第4期|41-41|共1页
作者
莫大康;
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