基于显微视觉的亚像素压电陶瓷驱动特性测量

刘艳梅; 金博伟; 魏阳杰; 薛定宇; 董再励

首页> 中文期刊> 《仪器仪表学报》 >基于显微视觉的亚像素压电陶瓷驱动特性测量

基于显微视觉的亚像素压电陶瓷驱动特性测量

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了得到纳米操作压电陶瓷驱动器高精度的驱动特性,提出一种基于显微视觉的亚像素位移测量方法。本文采用Harris角点初始定位,对标准的栅格图像序列进行角点匹配,获得模板匹配的初始区域。并提出了二元拉格朗日插值与二元非线性Newton-Raphson迭代算法的亚像素位移测量方法,能够在保证良好测量精度的同时有效地减少亚像素匹配中耗时的相关计算。最后使用改进的亚像素图像块匹配方法对实际的压电陶瓷驱动器的驱动特性进行了测量,并与真实结果和理论模型描述结果进行了对比。实验结果表明,该算法位移测量精度高、稳定性好,得到的压电陶瓷驱动特性曲线符合物理分析结果,能够满足高精度的微纳米测量要求。

著录项

来源
《仪器仪表学报》 |2015年第5期|1163-1169|共7页
作者
刘艳梅; 金博伟; 魏阳杰; 薛定宇; 董再励;
展开▼
作者单位

沈阳航空航天大学自动化学院;

东北大学信息科学与工程学院;

中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH39;
关键词
微纳米操作; 压电陶瓷驱动器; Harris角点; 亚像素;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于亚像素图像块匹配方法的压电陶瓷驱动特性测量 [J] . 魏阳杰 ,吴成东 ,董再励 . 机械工程学报 . 2010,第17期
2. 基于HT的显微视觉亚像素定位算法 [J] . 董代 ,孙明磊 ,石晶欣 . 光电工程 . 2006,第010期
3. 基于灰度的亚像素插值视觉测量方法 [J] . 戴宗贤 ,莫洪波 ,周勇 . 中国测试 . 2019,第005期
4. 基于亚像素级角点检测的双目视觉距离测量 [J] . 施闻明 ,郭星卫 ,王文清 . 舰船科学技术 . 2015,第002期
5. 一种基于视觉测量的亚像素边缘检测算法 [J] . 李杰 ,耿学贤 . 科学技术与工程 . 2015,第019期
6. 基于光杠杆原理测量压电陶瓷压电特性的方法 [C] . 潘在友 ,刘惠兰 ,冯丽爽 . 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会 . 2008
7. 基于亚像素检测算法的视觉测量技术研究 [A] . 李多 . 2016

基于显微视觉的亚像素压电陶瓷驱动特性测量

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅