双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列的设计与制作

董凤良; 潘亮; 张青川; 伍小平; 陈大鹏; 王玮冰; 郭哲颖

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本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——微悬臂梁阵列的设计和制作，它是SiNx／Au双材料单层膜结构，简化制作工艺、可以直接在空气中成像。实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD，得到120℃以上的物体热像，噪声等效温度差（NETD）为5K左右，实验结果与热机械模型预测结果一致。

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来源
《实验力学》 |2005年第b12期|35-42|共8页
作者
董凤良; 潘亮; 张青川; 伍小平; 陈大鹏; 王玮冰; 郭哲颖;
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作者单位

中国科学技术大学、中科院材料力学行为和设计重点实验室;

合肥230037;

中科院微电子研究所;

北京100029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类复合材料;理论力学（一般力学）;
关键词
非制冷红外成像; 光学读出; 双材料微悬臂梁阵列;

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