双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出

郭哲颖; 段志辉; 张青川; 伍小平; 董凤良; 潘亮; 陈大鹏; 王玮冰

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针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统，提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术，并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像。通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术，得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差（NETD）约为5K。并对系统噪声进行了讨论。

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来源
《实验力学》 |2005年第b12期|4-10|共7页
作者
郭哲颖; 段志辉; 张青川; 伍小平; 董凤良; 潘亮; 陈大鹏; 王玮冰;
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作者单位

中国科学技术大学、中科院材料力学行为和设计重点实验室;

合肥230027;

北京微电子中心;

北京100029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外系统装置;
关键词
双材料微悬臂梁; 非制冷红外成像; 光学读出;

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