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蓝光半导体碳化硅──材料、器件和工艺

         

摘要

碳化硅(SiC)是目前主要的蓝光半导体材料之一,国际上已初步实现了SiC蓝光发光二极管的产业化。目前商品器件工作电压3.0V,工作电流20mA时,发射波长470nm,功率18μW,工作电流50mA时,辐射功率可达36μW。最近的实验研究发现,采用SiC和氮化镓的合金制成的LED可大幅度提高发光效率,其发射功率的实验室水平已达850mW。文中从SiC材料特性、SiC发光器件及SiC材料、器件工艺等几方面入手,综述了SiC作为蓝光半导体材料及其器件和工艺的研究进展。

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