c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)

彭观良; 李抒智; 庄漪; 邹军; 王银珍; 刘世良; 周国清; 周圣明; 徐军; 干福熹

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采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相-γL iA lO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对-γL iA lO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响-γL iA lO2层质量的重要因素。要制备高质量的-γL iA lO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,-γL iA lO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。

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来源
《人工晶体学报》 |2005年第5期|833-837|共5页
作者
彭观良; 李抒智; 庄漪; 邹军; 王银珍; 刘世良; 周国清; 周圣明; 徐军; 干福熹;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所;

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正文语种 chi
中图分类 O771;
关键词
白宝石; γ-LiAlO2; 气相传输平衡; GaN; 衬底;

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