MEMS压电变形镜的有限元分析与结构优化设计

张晋弘; 许晓慧; 冯艳; 李保庆; 马剑强; 褚家如

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对PZT厚膜驱动的微变形镜（DM）进行了结构优化设计。基于有限元方法（FEM），分析了结构中各个参数对变形镜性能的影响。优化结果表明，单元边长1．75mm的驱动器，在最优参数下冲程可达2～5μm@100V，且加载镜面后驱动器的位移损失小于12％，带镜面负载能力强。根据优化结果制备了压电厚膜微驱动器阵列，驱动器的冲程可达4．5μm@100V，并与有限元方法的结果进行了分析比较。

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来源
《压电与声光》 |2010年第2期|254-257|共4页
作者
张晋弘; 许晓慧; 冯艳; 李保庆; 马剑强; 褚家如;
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作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;

江西省电力科学研究院;

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正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
PZT厚膜; 变形镜; 优化;

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