如何制作具有预期刻蚀深度的光刻胶浮雕全息图

钟丽云; 吕晓旭; 张文碧; 熊秉衡; 杨齐民; 宫爱玲

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光刻胶浮雕全息图通常是作为复制模压全息图的母版，在复制过程中所转移的是全息沟纹信息，所复制的全息图的衍射效率决定于沟纹的深度，因此控制浮雕全息图的沟纹深度非常重要，本文通过测量光刻胶浮雕全息图的衍射光强来确定它具有的相位调制度，从而间接地找到了测量刻蚀深度的新方法，并利用它来指导拍摄有预期刻蚀深度的光刻胶浮雕全息图。

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来源
《激光杂志》 |1997年第6期|39-44|共6页
作者
钟丽云; 吕晓旭; 张文碧; 熊秉衡; 杨齐民; 宫爱玲;
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作者单位

云南工业大学激光研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光全息摄影;
关键词
浮雕全息图; 刻蚀深度; 相位调制度; 光刻胶;

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