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利用CCD对位相全息图表面浮雕深度的快速测量

         

摘要

利用干涉显微镜、面阵CCD及微机系统,实现对位相全息图表面浮雕深度的快速测量,方法简便,测量精度高,能直以显示浮雕形貌。文中还对测量误差和测量条件的选择进行了分析。

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