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金属化电迁移失效的圆片级监控技术

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摘要

介绍3种圆片级金属化电迁移可靠性测试技术:(1)金属击穿能量技术;(2)标准圆片级电迁移加速测试技术;(3)标准圆片级等温焦耳热电迁移测试技术实验结果表明它们优于传统的电迁移寿命试验,可用作在线监控.

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来源
《微电子学与计算机》 |1993年第1期|45-48|共4页
作者
张蓓榕; 孙沩;
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作者单位

华东师范大学电子系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
电迁移; 圆片级; 监控技术;

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