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常海波; 徐洮; 李红轩; 张治军; 刘惠文;
河南大学特种功能材料实验室;
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室;
等离子体增强化学气相沉积; 类金刚石碳薄膜; 结构; 摩擦磨损性能;
机译:衬底偏压对微波激发等离子体增强化学气相沉积法沉积类金刚石碳薄膜摩擦学性能的影响
机译:单模和双模等离子体增强化学气相沉积法沉积类金刚石碳薄膜的性能研究
机译:原料气对等离子体增强化学气相沉积法制备的硅/氮结合类金刚石碳膜性能的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积和电沉积获得的类金刚石碳膜性能的比较
机译:通过等离子体辅助化学气相沉积制备的类金刚石碳膜的热降解和摩擦学行为。
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法制备纳米多孔非晶碳化硼薄膜的摩擦学和热稳定性研究
机译:类金刚石碳薄膜的等离子体增强化学气相沉积和电学表征
机译:离子束沉积类金刚石碳在化学气相沉积细晶金刚石上的摩擦磨损
机译:用于沉积金刚石和类金刚石薄膜的磁增强高密度等离子体化学气相沉积等离子体源
机译:磁增强低温高密度等离子体化学气相沉积用于沉积金刚石和类金刚石薄膜的等离子体源
机译:磁性增强的低温高密度等离子体化学气相沉积等离子体源,用于沉积金刚石和类金刚石薄膜
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