CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

潘永东; 钱梦录; 刘尔凯; 候立

首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文利用激光超声技术测量了ＣＶＤ金刚石膜的纵波声速。１原理激光超声法就是利用激光照射到固体薄膜试样表面，激发超声波，对此超声波进行检测分析，从而获得材料的声学特性。本文通过测定声脉冲传过试样所需的声时Δｔ和试样厚度Ｌ，用公式ＣＬ＝Ｌ／Δｔ就可以得到薄膜中的纵波声速ＣＬ。声脉冲的传播时间Δｔ，可以采用直达波法和反射回波法测量。直达波法是以激光脉冲为声脉冲产生的时间起点，测量声脉冲透过金刚石膜和铝延迟块的直达声脉冲的声时ｔ和声脉冲仅通过铝延迟块的声时ｔＡＬ，得到相应声速为：ＣＬ＝Ｌ／Δｔ＝Ｌ／（ｔ－ｔＡＬ）（１）反射回波法是通过测量相邻反射回波之间的声时Δｔ２Ｌ，以及声脉冲来回一次的声程２Ｌ，就可用公式（２）得到薄膜的纵波声速：Ｃ２Ｌ＝２Ｌ／Δｔ２Ｌ（２）反射回波法可消除耦合层对测量的影响，这对于Δｔ２Ｌ很小的试样，尤其对象金刚石膜有高声速的试样是很合适的。本文采用反射回波法测定金刚石膜的纵波声速，同时用直达波法进行校验和比较。２实验结果与讨论实验样品为人工晶体研究所用ＥＡ－ＨＦＣＶＤ方法制备的２片Ｆｒｅｓｔａｎｄｉｎｇ金刚石膜，厚度分别为０．５２４ｍｍ和０．５３７ｍｍ。样品光照面涂硅油，利用油膜的吸收光能和?

著录项

来源
《人工晶体学报》 |1997年第3期|329-329|共1页
作者
潘永东; 钱梦录; 刘尔凯; 候立;
展开▼
作者单位

同济大学声学研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.18;
关键词
压电薄膜; 激光超声; 金刚石薄膜; CVD法;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究 [J] . 潘永东 ,侯立 ,刘尔凯 . 人工晶体学报 . 1998,第2期
2. 直径5英寸CVD金刚石产品厚度达到1mm——河北省激光研究所CVD金刚石制备技术再上新台阶 [J] . . 中国超硬材料 . 2019,第004期
3. 气相沉积(CVD)金刚石厚膜与聚晶金刚石显微组织及其使用特性分析 [J] . 赵建敏 ,王修书 . 机械设计 . 2003,第9期
4. CVD金刚石涂层工具的水膜辅助脉冲激光加工技术研究 [J] . 刘文超 ,郭兵 ,赵清亮 . 精密制造与自动化 . 2020,第001期
5. 激光切割CVD金刚石膜的工艺研究 [J] . 严垒 ,吴飞飞 ,邓煜恒 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2012,第005期
6. CVD金刚石膜的光学特性研究及其应用 [C] . 梁继然 ,常明 ,熊瑛 . 第五届全国光子学大会 . 2004
7. 纳米晶金刚石膜合成研究及CVD金刚石辐射探测器研制 [A] . 周海洋 . 2005

CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅