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二氧化钛过渡层对脉冲激光沉积钛酸锶钡薄膜微结构和介电性质的影响

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摘要

选取极薄TiO2作为过渡层,采用脉冲激光沉积法分别在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究过渡层对BST薄膜微结构及电学性质的影响。发现厚度20纳米以内的锐钛矿相结晶TiO2过渡层可使BST薄膜由无规则取向转变为(111)择优取向,而非晶和较厚TiO2过渡层对BST薄膜的取向无影响。结晶的TiO2过渡层也使薄膜的表面颗粒变细。还研究了不同厚度TiO2对BST薄膜电学性质的影响,结果表明BST薄膜在Pt(111)底电极上加入极薄的结晶TiO2过渡层后电学性质有明显改善,薄膜的介电常数和可调谐度提高,而介电损耗降低。加入膜厚约5nm的TiO2过渡层后,测试频率为10 kHz时薄膜相应介电常数、介电损耗及可调谐度分别为513、0.053和36.7%。

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来源
《功能材料与器件学报》 |2008年第6期|1019-1025|共7页
作者
张鹏展; 沈明荣; 徐俞;
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作者单位

苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类 O484.42;
关键词
脉冲激光沉积法; BST薄膜; TiO2过渡层; 微结构; 介电性质;

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