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锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响

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摘要

采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为.性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中、介电性能最好的锶钡比为0.5∶0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加.

著录项

来源
《中国科技信息》 |2012年第6期|54|共1页
作者
赵丽丽; 张智翔; 高永进; 翟春雪; 何崇斌;
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作者单位

西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127;

西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127;

西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127;

西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127;

西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
溶胶-凝胶法; 钛酸锶钡薄膜; 介电性能; 锶钡比;

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