磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

谢晓康; 缑园渊; 杨佳; 边小兵; 周剑平

首页> 中文期刊> 《陕西师范大学学报：自然科学版》 >磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在Pt/Ti/SiO2/Si(110)衬底上利用射频磁控溅射法制备了Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了成膜时间、衬底温度、溅射功率、溅射气压、氧氩比、退火热处理等参数对薄膜的表面形貌和介电性能的影响.结果表明:在其他溅射参数一定的条件下,薄膜的厚度随溅射时间成指数关系增长;在退火温度600℃下热处理20min薄膜完全晶化;调节衬底温度、溅射功率、溅射气压等参数有助于制备出表面致密、晶粒大小均匀、具有高介电常数和低损耗的BST薄膜.

著录项

来源
《陕西师范大学学报：自然科学版》 |2014年第5期|37-42|共6页
作者
谢晓康; 缑园渊; 杨佳; 边小兵; 周剑平;
展开▼
作者单位

陕西师范大学物理学与信息技术学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;
关键词
射频磁控溅射; 钛酸锶钡薄膜; 表面形貌; 介电性能;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响 [J] . 杨佳 ,张运英 ,谢晓康 . 陕西师范大学学报（自然科学版） . 2016,第006期
2. 工艺因素对磁控溅射法制备钛酸锶钡薄膜性能的影响 [J] . 张玉芹 ,邓小玲 ,刘行冰 . 硅酸盐通报 . 2013,第12期
3. 磁控溅射工艺对二氧化钒薄膜生长及场致相变性能的影响 [J] . HE Changan ,WANG Qingguo ,QU Zhaoming . 功能材料 . 2018,第012期
4. 退火热处理对钛酸锶钡陶瓷介电性能的影响研究 [J] . 段冰 ,王怀然 ,官国武 . 今日制造与升级 . 2021,第003期
5. Sb_2O_3对非化学计量钛酸锶钡陶瓷介电性能的影响 [J] . 张晨 ,王爱成 ,袁伦 . 压电与声光 . 2015,第5期
6. 热处理方式影响磁控溅射HfO2高介电薄膜电学性能的研究 [C] . 魏勤香 ,叶葱 ,金迎春 . 第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议 . 2010
7. 稀土元素氧化物对钛酸锶钡铁电陶瓷介电性能影响的研究 [A] . 张鹤凌 . 2003

磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅