微机电系统科学与技术的现状研究

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• 来源
  《机械设计》 |2003年第11期|4-6|共4页
• 作者

  黄志奇; 杜平安; 卢凉;

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• 作者单位

  电子科技大学机械电子工程学院;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 机电一体化;
• 关键词

  微机电系统; 加工技术; 微传感器; 细微加工; LIGA; MEMS;