微机电系统微摩擦测试技术研究

吴翠红; 于博; 赵晶; 刘效含; 吴欣宇

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微机电系统微摩擦测试技术研究

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为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术.探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线.通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据.

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来源
《计量学报》 |2021年第10期|1288-1293|共6页
作者
吴翠红; 于博; 赵晶; 刘效含; 吴欣宇;
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作者单位

长春理工大学光电信息学院机电工程学院吉林长春130012;

长春工程学院机电工程学院吉林长春130012;

长春理工大学光电信息学院机电工程学院吉林长春130012;

长春理工大学光电信息学院机电工程学院吉林长春130012;

长春理工大学光电信息学院机电工程学院吉林长春130012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类力值计量;
关键词
计量学; 微摩擦; 微机电系统; 测试技术; 光反射; 计量标定;

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