微摩擦测试的微力传感器设计

王梁; 程先华

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微摩擦测试的微力传感器设计

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论述了一种新的应用于微摩擦测试的微力传感器,这种微力传感器能同时测定微小摩擦力及相应正压力的大小,其独特的悬臂结构消除了多维力传感器普遍关注的耦合问题.正压力和摩擦力的测力原理分别基于应变片法和位移法.标定及静态特性的分析表明,该微力传感器具有较高的测力精度和分辨力,适合于mN级的摩擦测试.摩擦测试实验表明,该微力传感器完全能进行各种润滑膜的微摩擦性能评估测试,从而为微摩擦研究提供了一种有效的实验工具.

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来源
《上海交通大学学报》 |2005年第11期|1792-1794|共4页
作者
王梁; 程先华;
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作者单位

上海交通大学机械与动力工程学院;

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正文语种 chi
中图分类 TG115.58;
关键词
微摩擦; 传感器; 测量; 微机电系统;

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