多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

李海峰; 黄勇; 万之坚; 张厚兴; 张立明; 许颖; 王文静

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多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

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采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.

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来源
《稀有金属材料与工程》 |2005年第z2期|865-867|共3页
作者
李海峰; 黄勇; 万之坚; 张厚兴; 张立明; 许颖; 王文静;
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作者单位

清华大学深圳研究生院;

深圳510855;

清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室;

北京100084;

北京市太阳能研究所;

北京100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类防蚀理论;
关键词
陶瓷衬底; 复合陶瓷设计; 薄膜电池;

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