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磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究

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摘要

通过激活能测试装置测量PECVD沉积的磷掺杂n型微晶硅薄膜,并对不同掺杂浓度、不同沉积温度下制备的样品的激活能进行了分析研究。结果表明:对磷掺杂微晶硅薄膜,激活能较本征薄膜小,以meV为单位,在晶化较好的情况下,激活能和晶化率的关系不明显,以杂质效应对电导的影响为主。

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来源
《人工晶体学报》 |2010年第b06期|135-138|共4页
作者
陈庆东; 王俊平; 张宇翔; 卢景霄;
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作者单位

滨州学院物理与电子科学系;

郑州大学材料物理教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
PECVD; 微晶硅; 电导; 激活能;

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