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TiO_2/Cu超晶格结构表征

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摘要

用磁控溅射方法制备 Ti O2 / Cu超晶格 .通过 X射线衍射和电镜手段对其进行测试 ,利用 X射线傅氏线形分析法对超晶格的微观参数进行表征 ,通过 TEM对超晶格的截面形貌进行观察 ,发现其具有柱状生长结构 .

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来源
《吉林大学学报（理学版）》 |2001年第3期|73-75|共3页
作者
徐跃; 李永华; 宫杰;
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作者单位

吉林大学测试中心;

吉林大学材料科学系;

四平师范学院物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
薄膜; 超晶格; 线形分析;

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