VTE法制备γ-LiAlO_2/α-Al_2O_3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

刘世良; 李抒智; 周圣明; 王银珍; 彭观良; 徐军

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通过气相传输平衡法(VTE)制备了γLiAlO2 /αAl2O3 复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11 20)和γ面(1 102)均获得单相多晶的γLiAlO2,且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γLiAlO2 颗粒质量得到改善,白宝石a面上γLiAlO2 的质量优于r面上的γLiAlO,两者都出现颗粒长大现象。

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来源
《人工晶体学报》 |2005年第2期|250-254|共5页
作者
刘世良; 李抒智; 周圣明; 王银珍; 彭观良; 徐军;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体生长;表面现象和表面性能;
关键词
VTE法; γ-LiAlO2/α-Al2O3; 腐蚀现象; 制备方法; 退火; 气相传输平衡; GaN; 氮化镓晶体; 热导率;

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