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微电子机械系统尺寸效应的泛函分析

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摘要

尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面 ,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上 ,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应 ,建立了一个尺寸效应的基本数学模型 ,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析。

著录项

来源
《机械设计》 |2004年第2期|17-19|共3页
作者
韩光平; 刘凯; 褚金奎;
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作者单位

西安理工大学;

郑州航空工业管理学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机电一体化;
关键词
微电子机械系统; 尺寸效应; 泛函分析; 灵敏度; 微器件;

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